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| 电阻式湿度传感器的制作方法 | |
| 引用本文： | 杨清风 S．Wendar.电阻式湿度传感器的制作方法[J].国外传感技术,2004,14(5):166-168. |
| 作者姓名： | 杨清风 S．Wendar |
| 摘 要： | 现时，用于测量相对湿度的传感器有机械式、电阻式等多种。其中电阻式湿度传感器的感应速度较快，结构较紧凑，而且适应性也优于机械式传感器。其代表性产品如磺化聚苯乙烯薄膜式湿度传感器。就现有的电阻式湿度传感器而言，多采用与敏感层粘着方式，相互保持一定间隔，对所配置的一对薄电极间的电阻变化进行测量。一般感湿层的电阻都很高，或增大电极的对向面积，或缩小电极的间隔，以 |
| 关 键 词： | 湿度传感器 电阻式 紧凑 配置 制作方法 感应 速度 间隔 电极 薄膜 |
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