| 动态流导法真空校准装置 |
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| 引用本文： | 张涤新,李得天,冯焱,成永军,赵定众,李正海,郭美如,赵澜,李莉,龚月莉,孙海.动态流导法真空校准装置[J].真空,2005,42(3):30-34. |
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| 作者姓名： | 张涤新 李得天 冯焱 成永军 赵定众 李正海 郭美如 赵澜 李莉 龚月莉 孙海 |
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| 作者单位： | 兰州物理研究所,甘肃,兰州,730000 |
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| 摘 要： | 动态流导法真空校准装置是真空计量的标准,可用于高真空和超高真空规的校准,真空度的校准范围为10-1～5×10-7 Pa,合成标准不确定度为0.69%～1.4%.
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| 关 键 词： | 真空标准 真空校准 真空规 |
| 文章编号： | 1002-0322(2005)03-0030-05 |
Vacuum calibration system by means of dynamic flow conductance |
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| ZHANG Di-xin,LI De-tian,FENG Yan,CHENG Yong-jun,ZHAO Ding-zhong,LI Zheng-hai,GUO Mei-ru,ZHAO Lan,LI Li,GONG Yue-li,SUN Hai.Vacuum calibration system by means of dynamic flow conductance[J].Vacuum,2005,42(3):30-34. |
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| Authors: | ZHANG Di-xin LI De-tian FENG Yan CHENG Yong-jun ZHAO Ding-zhong LI Zheng-hai GUO Mei-ru ZHAO Lan LI Li GONG Yue-li SUN Hai |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | vacuum standard vacuum calibration vacuum gauge |
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