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杂志ISSN号
大型激光晶体生长炉提拉装置的设计
作者姓名:
杨军良 刘小云
作者单位:
西安理工大学晶体生长设备研究所!西安710048
摘 要:
采用新工艺、新技术对激光、氧化物晶体生长炉的提拉装置进行全新设计,并对其精度进行了综合分析。该提拉装置精度高、稳定性好,适合生长大直径晶体,满足大规模工业化生产的需求。
关 键 词:
晶体生长炉
提拉装置
直拉法
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