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大型激光晶体生长炉提拉装置的设计
作者姓名:杨军良 刘小云
作者单位:西安理工大学晶体生长设备研究所!西安710048
摘    要:采用新工艺、新技术对激光、氧化物晶体生长炉的提拉装置进行全新设计,并对其精度进行了综合分析。该提拉装置精度高、稳定性好,适合生长大直径晶体,满足大规模工业化生产的需求。

关 键 词:晶体生长炉  提拉装置  直拉法
本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录!
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