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用Br—C_2H_5OH抛光InP衬底

引用本文：	李庆文 ,贾万琼.用Br—C_2H_5OH抛光InP衬底[J].半导体光电,1981(3).

作者姓名：	李庆文贾万琼

摘要：	提出了用0.5%的溴乙醇溶液抛光InP衬底材料,抛光后的表面光亮无划痕,比用铬离子抛光液等方法有显著改进。
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