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| 氩气流量对非平衡磁控溅射Ti/WS2复合薄膜结构和摩擦学性能的影响 | |
| 作者姓名： | 蔡海潮 王景华 叶军 韩江 薛玉君 王东峰 |
| 作者单位： | 合肥工业大学机械工程学院 安徽合肥230009;洛阳轴承研究所有限公司 河南洛阳471039;河南科技大学机电工程学院 河南洛阳471003;洛阳轴承研究所有限公司 河南洛阳471039;河南科技大学机电工程学院 河南洛阳471003;合肥工业大学机械工程学院 安徽合肥230009 |
| 基金项目： | 河南省科技攻关项目（202102210073） |
| 摘 要： | 采用非平衡磁控溅射技术制备Ti/WS_2复合薄膜。利用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)、纳米压痕仪和摩擦磨损试验机分别对复合薄膜的微观形貌、成分、硬度以及摩擦磨损性能进行测试,研究氩气流量对Ti/WS_2复合薄膜微观形貌和摩擦学性能的影响。结果表明:随着氩气流量增加,Ti/WS_2复合薄膜的疏松结构明显改善,薄膜致密度得到了提高,且Ti/WS_2复合薄膜的(002)晶面择优取向增强;随着氩气流量的增加,Ti/WS_2复合薄膜的摩擦因数呈现逐渐降低趋势,磨损率逐渐减小,且磨损机制由明显的磨粒磨损特征转变为轻微的磨粒磨损特征,呈现出较好的耐磨性。 |
| 关 键 词： | 非平衡磁控溅射 Ti/WS2复合薄膜 摩擦因数 流量 |
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