| 大面积金刚石自支撑膜机械抛光的优化工艺研究 |
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| 引用本文： | 郭世斌,曲杨,吕反修,唐伟忠,佟玉梅,宋建华.大面积金刚石自支撑膜机械抛光的优化工艺研究[J].功能材料,2007,38(7):1173-1175. |
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| 作者姓名： | 郭世斌 曲杨 吕反修 唐伟忠 佟玉梅 宋建华 |
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| 作者单位： | 1. 北京科技大学,材料科学与工程学院功能材料研究所,北京,100083
2. 沈阳科晶设备制造有限公司,辽宁,沈阳,110168 |
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| 基金项目： | 教育部高等学校博士学科点专项科研基金 |
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| 摘 要： | 研究了一种用于抛光等离子体溅射CVD法制备的金刚石自支撑膜的高效安全的抛光工艺.试验探索了转盘转速、金刚石粉颗粒尺寸、磨盘表面形状对金刚石自支撑膜磨抛速率的影响.研究表明:带槽盘对金刚石自支撑膜的粗研磨效果明显,速率较高,平面盘对提高金刚石自支撑膜的表面粗糙度有利;不同颗粒的金刚石粉对应着各自合适的能充分利用其磨削能力的转速,在这个转速下,金刚石自支撑膜的磨抛速率在12μm/h左右.本文通过对新的工艺参数的探索,为金刚石自支撑膜后续加工提供有力的技术支持.
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| 关 键 词： | 金刚石自支撑膜 机械抛光 优化工艺 |
| 文章编号： | 1001-9731（2007）07-1173-03 |
| 修稿时间： | 2006-12-272007-03-23 |
The study on the optimizational technology of the large area free-standing diamond films' mechanical polishing |
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| GUO Shi-bin,QU Yang,L Fan-xiu,TANG Wei-zhong,TONG Yu-mei,SONG Jian-hua.The study on the optimizational technology of the large area free-standing diamond films'''' mechanical polishing[J].Journal of Functional Materials,2007,38(7):1173-1175. |
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| Authors: | GUO Shi-bin QU Yang L Fan-xiu TANG Wei-zhong TONG Yu-mei SONG Jian-hua |
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| Affiliation: | GUO Shi-bin,QU Yang,L(U) Fan-xiu,TANG Wei-zhong,TONG Yu-mei,SONG Jian-hua |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | free-standing diamond film mechanical polishing optimizational technology |
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