| 改善场发射扫描电镜分辨本领的原理和展望 |
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| 引用本文： | 廖乾初.改善场发射扫描电镜分辨本领的原理和展望[J].电子显微学报,2000,19(5):709-716. |
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| 作者姓名： | 廖乾初 |
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| 作者单位： | 北京钢铁研究总院,北京,100081 |
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| 摘 要： | 本文讨论了改善场发射扫描电镜分辨本领的原理。分析结果表明 ,仪器的分辨本领主要依赖于物镜的球像差系数 Cs。如果等效球像差系数能降低到 0 .1× 10 -2 cm的水平 ,则二次电子像的分辨本领为 0 .3 2 2 nm(当扫描电子束的加速电压 VA=3 0 k V)。此外 ,在 Cs=0和扫描电子束的半开角 α=5× 10 -2 rad,本文估计场发射扫描电镜的极限分辨本领可望达到 0 .178nm(当 VA=3 0 k V)。
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| 关 键 词： | 等效球像差系数 场发射扫描电镜 分辨率 |
Principle and prospect to improve the resolution of field emission scanning electron microscope |
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| LIAO Qian-chu.Principle and prospect to improve the resolution of field emission scanning electron microscope[J].Journal of Chinese Electron Microscopy Society,2000,19(5):709-716. |
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| Authors: | LIAO Qian-chu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | resolution of the secondary electron image equifinal spherical aberra tion coefficient optimum half open angle limit resolution |
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