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氧化工艺对玻璃—金属封接管壳气密性的影响
引用本文:
黄乐,马莒生.氧化工艺对玻璃—金属封接管壳气密性的影响[J].电子工艺技术,1995(1):6-8.
作者姓名:
黄乐
马莒生
作者单位:
清华大学材料科学与工程系,武汉无线电器材厂
摘 要:
进行了氧化工艺试验,分析了可伐预氧化质量对玻封金属管壳气密性的影响,提出了改进可伐预氧化工艺的途径。
关 键 词:
集成电路
玻璃封接
金属管壳
气密性
氧化工艺
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