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| 氧化工艺对玻璃—金属封接管壳气密性的影响 | |
| 引用本文： | 黄乐,马莒生.氧化工艺对玻璃—金属封接管壳气密性的影响[J].电子工艺技术,1995(1):6-8. |
| 作者姓名： | 黄乐 马莒生 |
| 作者单位： | 清华大学材料科学与工程系，武汉无线电器材厂 |
| 摘 要： | 进行了氧化工艺试验，分析了可伐预氧化质量对玻封金属管壳气密性的影响，提出了改进可伐预氧化工艺的途径。 |
| 关 键 词： | 集成电路 玻璃封接 金属管壳 气密性 氧化工艺 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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