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CVD-ZnS中与锌有关的晶体缺陷及其对光学性能的影响
引用本文:憨勇,刘正堂,郑修麟.CVD-ZnS中与锌有关的晶体缺陷及其对光学性能的影响[J].硅酸盐学报,1997(4).
作者姓名:憨勇  刘正堂  郑修麟
作者单位:西安交通大学,西北工业大学
摘    要:采用化学气相沉积(CVD)法制备了红外晶体ZnS块材料。用氩气作为载体,反应气体为硫化氢和锌蒸气。XPS,IR及能谱分析表明:当沉积温度低于锌蒸发温度时,生成的ZnS中与锌有关的晶体缺陷有Zn—H功能团及存在于花瓣状形态中心的锌微粒夹杂;当沉积温度高于锌蒸发温度时,锌微粒夹杂消失,且随沉积温度的升高Zn—H含量减少,Zn—H对红外光在6.2μm波长处的吸收峰减弱,使生成的ZnS具有高的红外透过率。

关 键 词:化学气相沉积,硫化锌,缺陷,红外透过率

ZINC RELATED CRYSTAL DEFECTS IN CVD ZnS AND THEIR INFLUENCE ON OPTICAL PROPERTY
Han Yong Wu Huizhuo,Liu Zhengtang Zheng Xiulin.ZINC RELATED CRYSTAL DEFECTS IN CVD ZnS AND THEIR INFLUENCE ON OPTICAL PROPERTY[J].Journal of The Chinese Ceramic Society,1997(4).
Authors:Han Yong Wu Huizhuo  Liu Zhengtang Zheng Xiulin
Abstract:
Keywords:chemical vapour deposition  zinc sulphide  defect  infrared transmittance  
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