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| 基于PSD的微位移测量系统研究 | |
| 引用本文： | 程意,董登峰,周维虎,卢荣胜,林心龙.基于PSD的微位移测量系统研究[J].电子设计工程,2015,23(7). |
| 作者姓名： | 程意 董登峰 周维虎 卢荣胜 林心龙 |
| 作者单位： | 1. 合肥工业大学 安徽合肥230009;中国科学院光电研究院 北京100094 2. 中国科学院光电研究院 北京100094 3. 合肥工业大学 安徽合肥230009 |
| 基金项目： | 国家重大科学仪器设备开发专项资助 |
| 摘 要： | 为了提高激光跟踪仪的跟踪精度,改善激光跟踪仪性能,根据测量光斑在PSD上的坐标可实现光斑位移测量的原理,研究了提高微位移测量精度的方法,设计出一种由PSD传感器、ADS8556模数转换器和TMS320F28335数字信号处理器构成的高性能微位移测量系统.该系统在硬件设计中引入二阶有源低通滤波器消除了部分噪声干扰;在软件设计中通过误差补偿和数字滤波进一步提高了数据可靠性.加入抗干扰设计后,获得的二维坐标波动量峰峰值均在6μm以内.实验表明,该系统可获得高精度的光斑坐标,为激光跟踪仪精密跟踪奠定良好基础. |
| 关 键 词： | 微位移测量 二阶有源低通滤波器 位置敏感探测器 ADS8556 TMS320F28335 |
Research of micro-displacement measurement system based on PSD |
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| CHENG Yi,DONG Deng-feng,ZHOU Wei-hu,LU Rong-sheng,LIN Xin-long.Research of micro-displacement measurement system based on PSD[J].Electronic Design Engineering,2015,23(7). | |
| Authors: | CHENG Yi DONG Deng-feng ZHOU Wei-hu LU Rong-sheng LIN Xin-long |
| Abstract: | |
| Keywords: | micro-displacement measurement the second-order active low-pass filter position sensitive detector ADS8556 TMS320F28335 |
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