| SnO2-Ag-SnO2结构元件室温下对H2S的敏感特性研究 |
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| 引用本文： | 李莉,童茂松,翁爱华. SnO2-Ag-SnO2结构元件室温下对H2S的敏感特性研究[J]. 传感技术学报, 2006, 19(4): 950-952 |
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| 作者姓名： | 李莉 童茂松 翁爱华 |
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| 作者单位： | 大庆石油学院化学化工学院,黑龙江,大庆,163318;大庆石油管理局测井公司研发中心,黑龙江,大庆,163412;吉林大学地球探测科学与技术学院,吉林,长春,130026 |
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| 摘 要： | 以SnCl4和O2为源物质,采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)和浸渍法掺Ag技术制备了SnO2-Ag-SnO2结构薄膜,在20℃下该结构薄膜对H2S具有良好的气敏特性,即高灵敏度、良好的选择特性和开关式响应特性.
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| 关 键 词： | PECVD H2S气体传感器 气敏特性 |
| 文章编号： | 1004-1699（2006）04-0950-03 |
| 收稿时间： | 2005-10-31 |
| 修稿时间： | 2005-10-31 |
Gas Sensitive properties of SnO2-Ag-SnO2 element to H2S at room temperature |
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| LI Li,TONG Mao-song,WENG Ai-hua. Gas Sensitive properties of SnO2-Ag-SnO2 element to H2S at room temperature[J]. Journal of Transduction Technology, 2006, 19(4): 950-952 |
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| Authors: | LI Li TONG Mao-song WENG Ai-hua |
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| Affiliation: | 1 School of Chemistry and Chemical Engineering, Da Qing Petroleum Institute2 R&D Center of Well Logging Company, Daqing Petroleum Administrative Bureau3 College of GeoExploration Science and Technology, Jilin University |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | PECVD |
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