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吉时利引进第三代品圆射频(RF)测量功能
摘    要:吉时利仪器公司最近发布了用于半导体生产过程中参数测试的第三代晶圆射频(RF)测量功能。对于吉时利公司第三代射频(RF)参数测量系统方案(是一个选配件),其独特的新内容是能提供连续、自动、实时的测试质量监控,在提供优等质量结果的同时,也获得了最高测量产能、最低运行成本,以及易于使用的特点。此外,吉时利公司的射频(RF)参数测量选项是目前唯一一个在全球范围内获得验证的,适合于200mm和300mm晶圆制造工厂的半导体参数射频(RF)测试系统,适用于包括高性能逻辑电路生产和高性能模拟集成电路生产。

关 键 词:RF 射频 300mm晶圆 逻辑电路 半导体生产 模拟集成电路 吉时利仪器公司 量产 产能 吉时利公司
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