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| 三氧化钨薄膜的光学特性和结构研究 | |
| 引用本文： | 许静,唐一科,徐艳,范瑛. 三氧化钨薄膜的光学特性和结构研究[J]. 材料导报, 2006, 20(Z2): 336-338 |
| 作者姓名： | 许静 唐一科 徐艳 范瑛 |
| 作者单位： | 1. 重庆科技学院化学与生物工程学院,重庆,400050 2. 重庆大学机械工程学院,重庆,400044 3. 中国工程物理研究院结构力学研究所,绵阳,621000 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家自然科学基金-中国工程物理研究院(NSAF)联合基金 |
| 摘 要： | 用溶胶-凝胶法和直流反应磁控溅射法制备了表面均匀致密的三氧化钨薄膜,并用双光束紫外可见分光光度计和X衍射分别对薄膜的透光性、结构形态进行了测定;描述了退火温度对薄膜透光性和结构形态的影响,结果表明在高温(＞300℃)退火处理后薄膜的透光率下降,且退火温度越高透光率越低;在350℃以下退火处理后得到薄膜样品为非晶态,在350～400℃范围内退火处理,样品由非晶态向晶态转变. |
| 关 键 词： | 溶胶-凝胶法 直流磁控溅射法 透光性 结构形态 |
Optical and Structural Properties of Tungsten Oxide Films |
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| XU Jing,TANG Yike,XU Yan,FAN Ying. Optical and Structural Properties of Tungsten Oxide Films[J]. Materials Review, 2006, 20(Z2): 336-338 | |
| Authors: | XU Jing TANG Yike XU Yan FAN Ying |
| Abstract: | |
| Keywords: | sol-gel DC-reactive magnetron sputtering light transmittance structure |
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