| 脉冲激光MEMS加工技术 |
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| 引用本文： | 李艳宁,唐洁,饶志军,宋晓辉,胡晓东,傅星,胡小唐.脉冲激光MEMS加工技术[J].微纳电子技术,2003,40(7):159-163. |
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| 作者姓名： | 李艳宁 唐洁 饶志军 宋晓辉 胡晓东 傅星 胡小唐 |
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| 作者单位： | 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展专项基金资助项目(2002AA4040907);教育部留学回国人员科研启动基金项目 |
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| 摘 要： | 阐述了脉冲激光微加工技术及其在微机电系统(MEMS)加工中的应用。脉冲激光微加工技术能够制作出三维微型结构并具有微米／亚微米加工精度，且适用于多种材料，与传统的微细加工技术如光刻、刻蚀、体硅和面硅加工技术等相比具有其独到之处。进一步阐述了基于激光烧蚀的脉冲激光直接微加工技术、激光-LIGA技术、激光辅助沉积与刻蚀技术以及MEMS的激光辅助操控及装配技术。
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| 关 键 词： | 脉冲激光 MEMS加工技术 微机电系统 激光烧蚀 集成电路 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0159-05 |
| 修稿时间： | 2003年5月15日 |
Applications of pulsed laser microfabrication technology in MEMS |
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