脉冲激光MEMS加工技术 |
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引用本文: | 李艳宁,唐洁,饶志军,宋晓辉,胡晓东,傅星,胡小唐. 脉冲激光MEMS加工技术[J]. 微纳电子技术, 2003, 40(7): 159-163 |
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作者姓名: | 李艳宁 唐洁 饶志军 宋晓辉 胡晓东 傅星 胡小唐 |
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作者单位: | 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072 |
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基金项目: | 国家高技术研究发展专项基金资助项目(2002AA4040907);教育部留学回国人员科研启动基金项目 |
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摘 要: | 阐述了脉冲激光微加工技术及其在微机电系统(MEMS)加工中的应用。脉冲激光微加工技术能够制作出三维微型结构并具有微米/亚微米加工精度,且适用于多种材料,与传统的微细加工技术如光刻、刻蚀、体硅和面硅加工技术等相比具有其独到之处。进一步阐述了基于激光烧蚀的脉冲激光直接微加工技术、激光-LIGA技术、激光辅助沉积与刻蚀技术以及MEMS的激光辅助操控及装配技术。
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关 键 词: | 脉冲激光 MEMS加工技术 微机电系统 激光烧蚀 集成电路 |
文章编号: | 1671-4776(2003)07/08-0159-05 |
修稿时间: | 2003-05-15 |
Applications of pulsed laser microfabrication technology in MEMS |
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Abstract: | |
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