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| 接触式干涉仪定度误差分析及调整 | |
| 作者姓名： | 王东 张露 王玉 李景尧 |
| 作者单位： | 中航工业沈阳黎明航空发动机 集团 有限责任公司,沈阳,110043 |
| 摘 要： | 本文从接触式干涉仪测微原理出发，运用几何光学的基本原理，导出接触式干涉仪分度值表达式，并对定分度值所产生的误差进行了分析，同时对减少定度误差提出了具体的调整方案。 |
| 关 键 词： | 接触式干涉仪 干涉条纹 定度误差 滤光片波长 物镜畸变 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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