新型惯性式压电驱动机构的研究 |
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作者姓名: | 曾平 温建明 程光明 吴博达 杨志刚 |
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作者单位: | 1.吉林大学 机械工程学院,吉林 长春,130025 |
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基金项目: | 国家自然科学基金
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高等学校博士学科点专项科研项目 |
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摘 要: | 基于控制移动机构和支撑面之间摩擦力的方法,提出了新型惯性冲击式压电陶瓷驱动机构的研究方案。分析了驱动机构的工作原理,驱动电压与驱动力、位移之间的关系,设计、制做了可实现直线往复运动的压电微型驱动器结构,并作了相关的性能测试。实验结果表明,采用简单的对称信号波形能驱动机构运动。直线驱动器最高速度可达1mm/s,最大步长分辨率为20nm,最大承载能力为1000g。
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关 键 词: | PZT 压电驱动器 微驱动器 惯性 摩擦 |
文章编号: | 1004-924X(2006)04-0623-05 |
收稿时间: | 2005-11-12 |
修稿时间: | 2006-09-18 |
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