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| 多晶硅装置尾气回收工艺研究进展 | |
| 作者姓名： | 杜盼 陈锦溢 丁哲 陆平 华超 白芳 王繁 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院过程工程研究所绿色过程与工程重点实验室;2. 中国科学院大学化学工程学院;3. 中国科学院绿色过程制造创新研究院 |
| 基金项目： | 宁夏回族自治区重点研发计划(2022BFH2007)； |
| 摘 要： | 综述了改良西门子法多晶硅制备工艺及尾气回收研究现状，从回收率、回收效果及能耗等方面阐述了湿法回收、膜分离回收和干法回收3种尾气回收工艺。重点概述了多晶硅尾气干法回收工艺各个单元的研究进展，并根据现状总结了未来的研究方向。 |
| 关 键 词： | 多晶硅 尾气回收 氯硅烷 膜分离 |