45°双驱动弹光调制高速椭偏测量方法

为解决传统机械旋转补偿器型椭偏仪测量速度较慢问题，提出一种电驱动的双弹光调制的高速椭偏测量方法。通过理论分析并仿真研究45°双驱动弹光调制器工作在纯行波模式下的调制方式。结果发现，当双驱动弹光调制器工作在纯行波模式可实现快轴方向的高速周期性旋转，且相位延迟量为常量。结合椭偏原理，详细研究一种基于双驱动弹光调制的高速椭偏测量理论模型，结果表明，该模型光学周期<10μs,用于实际可真正实现超高速偏光调制。通过研究，有望解决半导体集成电路，微电子和光伏电池等生产过程中薄膜超高速检测难题，对薄膜在线检测、瞬态变化测量具有重要意义和学术价值。