| 光致弯曲薄膜微执行器的研究 |
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| 引用本文： | 刘恒,朱玉田,刘钊,陈茂林. 光致弯曲薄膜微执行器的研究[J]. 压电与声光, 2010, 32(3) |
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| 作者姓名： | 刘恒 朱玉田 刘钊 陈茂林 |
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| 作者单位： | 同济大学机械工程学院,上海,201804 |
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| 基金项目： | 上海市自然科学基金资助项目，国家"八六三"光驱动型聚合物微执行器基金资助项目 |
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| 摘 要： | 光致弯曲薄膜是一种可遥控供能的新型微执行器驱动元件.介绍了光致弯曲薄膜的驱动原理,综述了光致弯曲薄膜微执行器的开发和研究现状,重点介绍了光致弯曲薄膜微执行器在微液体控制系统和微马达中的应用,并对光致弯曲薄膜在微执行器中的应用进行了展望.
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| 关 键 词： | 光致弯曲 微执行器 微阀 微泵 微马达 |
Research of Photo-induced Bending Thin Film Microactuators |
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| LIU Heng,ZHU Yutian,LIU Zhao,CHEN Maolin. Research of Photo-induced Bending Thin Film Microactuators[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2010, 32(3) |
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| Authors: | LIU Heng ZHU Yutian LIU Zhao CHEN Maolin |
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