| Ge基底7.5～11.5μm波段高性能红外增透膜的研制 |
| |
| 引用本文： | 闫兰琴,张树玉,刘伟,刘嘉禾,袁果,黎建明,杨海,苏小平.Ge基底7.5～11.5μm波段高性能红外增透膜的研制[J].红外与激光工程,2010,39(5). |
| |
| 作者姓名： | 闫兰琴 张树玉 刘伟 刘嘉禾 袁果 黎建明 杨海 苏小平 |
| |
| 基金项目： | 国家863计划资助项目 |
| |
| 摘 要： | 为了提高Ge基底的红外光能量的透过率和膜层的机械强度,对Ge基底上高性能的红外宽带减反射膜的设计与制备工艺进行了研究.介绍了红外宽带减反射膜的合理的膜料选择、膜系设计和优化方法以及采用离子束辅助沉积技术沉积该膜系的过程.给出了离子束辅助沉积技术各工艺参数,以及在最佳参数条件下制备的7.5～11.μm波段宽带减反射膜单双面增透实测光谱曲线,其峰值透过率高达99.2%,在设计的波段范围内,平均透过率大于98%,膜层附着性能好,光机性能稳定,重复性好,能够通过GJB2485-95所规定的各项环境测试,并且光学性能没有明显的变化,这对于红外光学系统的应用具有十分重要的意义.
|
| 关 键 词： | Ge基底 红外宽带增透膜 优化 离子辅助沉积 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
