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华润上华第二代200VS0I工艺实现量产
摘    要:华润微电子有限公司(“华润微电子”)附属公司华润上华科技有限公司(“华润上华”)近日宣布,继2010年首颗200VSOICDMOS产品量产后,日前更高性价比的第二代SOI工艺实现量产。该工艺是一种集成多种半导体器件的集成电路制造技术,由华润上华在2010年实现量产的一代工艺基础上作了工艺升级,达到更高的性价比,这在国内尚属首家。

关 键 词:SOI工艺  第二代  高性价比  集成电路  半导体器件  制造技术  微电子
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