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中国电科MEMS加速度传感器产品在国际招标中获胜
摘 要:
日前,由中国电科第13研究所研制的MEMS加速度传感器突破了高精度SOI工艺加工、圆片级可调阻尼封装、低功耗ASIC专用集成电路等关键技术,在国际招标项目中,一举战胜美国PCB公司和瑞士奇石乐等国际知名传感器厂商。这是国产MEMS加速度传感器首次在国际招标中获胜,标志着中国电科MEMS加速度传感器已达到国际先进产品水平。
关 键 词:
加速度传感器
国际招标项目
MEMS
中国
产品
专用集成电路
工艺加工
ASIC
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