一种基于S型电磁超材料的高温温度传感器设计 |
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引用本文: | 张春丽,吴倩楠,翟荣锭,刘雁飞,李孟委.一种基于S型电磁超材料的高温温度传感器设计[J].传感技术学报,2024,37(3):389-395. |
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作者姓名: | 张春丽 吴倩楠 翟荣锭 刘雁飞 李孟委 |
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作者单位: | 中北大学半导体与物理学院,中北大学前沿交叉科学研究院,中北大学微系统集成研究中心,中北大学仪器与智能未来技术学院,中北大学仪器与电子学院 |
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摘 要: | 摘要:针对目前超材料温度传感器存在的量程小且灵敏度较低的问题,设计了一种碳氮化硅基的S型超材料的高温传感器。通过CST电磁仿真软件对超材料温度传感器进行模拟仿真,在其它结构参数一定的情况下,对金属条的长度、宽度、厚度、条间隙及基板厚度等参数进行了设计与优化,确定了传感器结构的最佳尺寸,同时分析了传感器的谐振频率对温度的影响。结果表明,在28℃~1000℃下平均灵敏度可达5.674MHz/℃。与之前报道的高温传感器相比,灵敏度提高了5倍,这种高灵敏度温度传感器可为航空发动机、武器装备等系统中的高温测试提供一种技术手段。
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关 键 词: | 温度传感器 电磁超材料 碳氮化硅 S 型 高温传感器 高灵敏度 |
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