| 单晶硅太阳电池背场欧姆接触的改善研究 |
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| 引用本文： | 李幼真,周继承,黄迪辉,赵保星. 单晶硅太阳电池背场欧姆接触的改善研究[J]. 太阳能学报, 2011, 32(1) |
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| 作者姓名： | 李幼真 周继承 黄迪辉 赵保星 |
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| 作者单位： | 中南大学物理科学与技术学院,长沙,410083 |
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| 摘 要： | 采用磁控溅射在扩散工艺后的单晶硅片背面沉积了铝膜,对样品在600～900℃之间进行了快速热处理,利用四探针电阻测试仪、扫描电镜对热处理前后样品的电阻率、形貌等进行了表征,用半导体参数测试仪测量了样品的I-V曲线,计算了铝膜与硅片的接触电阻,并同步与印刷铝浆料样品进行了对比,研究表明,与丝网印刷工艺相比,溅射铝膜具有均匀细腻、电阻率低、接触电阻小等优点.
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| 关 键 词： | 欧姆接触 磁控溅射 晶硅太阳电池 铝背场 |
THE IMPROVEMENT RESEARCH ON BACK SURFACE OMIC CONTACT OF CRYSTLINE SILICON SOLAR CELLS |
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| Li Youzhen,Zhou Jicheng,Huang Dihui,Zhao Baoxing. THE IMPROVEMENT RESEARCH ON BACK SURFACE OMIC CONTACT OF CRYSTLINE SILICON SOLAR CELLS[J]. Acta Energiae Solaris Sinica, 2011, 32(1) |
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| Authors: | Li Youzhen Zhou Jicheng Huang Dihui Zhao Baoxing |
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| Affiliation: | Li Youzhen,Zhou Jicheng,Huang Dihui,Zhao Baoxing (School of Physics Science and Technology,Central South University,Changsha 410083,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Ohm-contacted resistance magnetron sputtering crystalline silicon solar cell Al back surface filed |
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