| 复合靶溅射Bi4Ti3O12铁电薄膜的结构和相变 |
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| 引用本文： | 刘海林,熊锐,金明桥,于国萍,李玲. 复合靶溅射Bi4Ti3O12铁电薄膜的结构和相变[J]. 压电与声光, 2002, 24(4): 312-314,322 |
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| 作者姓名： | 刘海林 熊锐 金明桥 于国萍 李玲 |
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| 作者单位： | 武汉大学,物理系,武汉,430072 |
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| 摘 要： | 采用金属与金属氧化物复合靶的射频溅射法，在Si基片上沉积制备了Bi4Ti3O12(BTO)铁电薄膜，用变温X－射线及热分析等方法研究BTO铁电薄膜的结构和相变，结果表明，在温度为350－445℃之间，薄膜经历由烧绿石相向钙钛矿相的结构相变，在670℃附近，薄膜由铁电相向顺电相转变，该相变是由于晶格畸变量b/a随温度上升连续减小，使得薄膜晶体对称性发生改变引起，在相变附近未观察到潜热的产生。
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| 关 键 词： | BTO薄膜 复合靶 溅射 Bi4Ti3O12铁电薄膜 相变 |
| 文章编号： | 1004-2474(2002)04-0312-03 |
The Structure and Phase Transition of Bi4Ti3O12 Ferroelectric Film by Sputtering of Composite Target |
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| LIU Hai lin,XIONG Rui,JIN Min qiao,YU Guo pin,LI Lin. The Structure and Phase Transition of Bi4Ti3O12 Ferroelectric Film by Sputtering of Composite Target[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2002, 24(4): 312-314,322 |
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| Authors: | LIU Hai lin XIONG Rui JIN Min qiao YU Guo pin LI Lin |
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| Keywords: | Bi 4Ti 3O 12 ferroelectric film structure phase transition |
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