| 电热驱动镍微夹钳的设计及制作 |
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| 引用本文： | 褚金奎,郝秀春,王立鼎.电热驱动镍微夹钳的设计及制作[J].机械工程学报,2007,43(5):116-121. |
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| 作者姓名： | 褚金奎 郝秀春 王立鼎 |
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| 作者单位： | 大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,大连,116023;大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连,116023 |
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| 摘 要： | 为实现微系统产业化开发适用于微型零件操作和装配的微夹钳,采用电热驱动方式、V形梁阵列式电热驱动器为钳体部分提供输入位移,钳体部分应用拓扑优化方法进行设计以实现输入位移放大.金属镍作为制作微夹钳的材料,用紫外光刻微电铸脱模技术工艺制作了电热镍微夹钳.通过正交试验,得到加工SU-8铸模的最优工艺参数,对影响工艺质量的各个因素进行详细讨论并给出解决方法,并加工出了钳体尺寸在毫米量级,最小特征尺寸为10 μm,厚度为30 μm的电热微夹钳.对制作的微夹钳在0～2.5 V直流电压下进行动态测试,夹持端位移最大可达67μm,最大夹持力可达0.8 N,可以满足微机电系统微操作的夹持要求.
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| 关 键 词： | 微夹钳 紫外光刻微电铸脱模技术 电铸 电热驱动 电热微夹钳 设计及制作 MICROGRIPPER NICKEL ELECTROTHERMAL FABRICATION 微操作 微机电系统 夹持力 动态测试 直流电压 厚度 特征尺寸 最小 钳体 方法 因素 工艺质量 影响 |
| 修稿时间： | 2006年7月28日 |
DESIGN AND FABRICATION OF ELECTROTHERMAL NICKEL MICROGRIPPER |
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| CHU Jinkui,HAO xiuchun,WANG Liding.DESIGN AND FABRICATION OF ELECTROTHERMAL NICKEL MICROGRIPPER[J].Chinese Journal of Mechanical Engineering,2007,43(5):116-121. |
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| Authors: | CHU Jinkui HAO xiuchun WANG Liding |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Microgripper UV-LIGA Electroplating |
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