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| 0.8μm投影光刻物镜研制 | |
| 作者姓名： | 陈旭南 王效才 |
| 作者单位： | 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室，中国科学院光电技术研究所 |
| 基金项目： | 国家“八五”科技攻关项目 |
| 摘 要： | 介绍了０．８－１μｍ分步重复投影光刻机投影光刻物镜双远心成象原理及设计研制。所研制的ｇ线１／５精密投影光刻物镜，其数值孔径ＮＡ＝０．４５，视场１５ｍｍ＊１５ｍｍ，畸变不超过±０．１μｍ。 |
| 关 键 词： | 投影物镜 紫外光刻 分步重复光刻机 光刻机 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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