| 双SOI结构高性能压力传感器 |
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| 引用本文： | 柴书常. 双SOI结构高性能压力传感器[J]. 物探装备, 2000, 0(1) |
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| 作者姓名： | 柴书常 |
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| 作者单位： | 石油地球物理勘探局特种装备勘探处 |
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| 摘 要： | 利用双SOI结构可以制成高性能的压力传感器。本文详细介绍了这种新型压力传感器的结构、特点和制作过程,并对其特性进行了讨论。
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| 关 键 词： | 压力传感器 双SOI结构 灵敏度 漂移 |
High-performance pressure sensors using double silicon-on-insulator structures. |
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| Chai Shuchang.. High-performance pressure sensors using double silicon-on-insulator structures.[J]. Equipment for Geophysical Prospecting, 2000, 0(1) |
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| Authors: | Chai Shuchang. |
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| Affiliation: | Chai Shuchang. |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | pressure sensors double silicon-on-insulator structures sensitivity offset |
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