基于质量流量计的多点多浓度气体配制研究 |
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作者姓名: | 宫少华 杨燕罡 宋丽梅 |
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作者单位: | 天津工业大学电气工程与自动化学院4C-511,天津,300387 |
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基金项目: | 国家自然科学基金,天津市应用基础及前沿技术研究 |
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摘 要: | 主要介绍了基于质量流量计的多点多浓度气体配置系统,可以配置出用于标定精密仪器时用的多点多浓度气体.主要介绍了其基本结构及工作原理,通过对气体分割器准确度的考察,表明这种方法在设备成本、重复性以及精确性上较以往体积流量都有较大的改善.
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关 键 词: | 质量流量计 多点浓度 气体分割器 |
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