| 基于隧道电流检测方式的原子力显微镜纳米检测系统设计 |
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| 引用本文： | 刘安平,郭红华,朱坤,覃国平,王斌波. 基于隧道电流检测方式的原子力显微镜纳米检测系统设计[J]. 电子显微学报, 2009, 28(2): 116-121 |
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| 作者姓名： | 刘安平 郭红华 朱坤 覃国平 王斌波 |
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| 作者单位： | 重庆大学恒瑞纳米技术研究所,重庆,400030;重庆大学恒瑞纳米技术研究所,重庆,400030;重庆大学恒瑞纳米技术研究所,重庆,400030;重庆大学恒瑞纳米技术研究所,重庆,400030;重庆大学恒瑞纳米技术研究所,重庆,400030 |
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| 基金项目： | 重庆市科委自然科学基金，重庆大学自然科学青年基金，重庆大学国家大学生创新性实验计划项目 |
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| 摘 要： | 原子力显微镜（AFM）是当前进行材料表面微观形貌观察及分析的强有力工具之一。本文主要介绍一种隧道显微镜（STM）检测方式的原子力显微镜纳米检测系统（AFM.IPC-208B）,该AFM系统设计是在STM.IPC-205B系统设计的基础上,采用隧道电流工作方式,将STM与AFM功能组合兼容。文章详细阐述了AFM.IPC-208B系统的设计原理、镜体、扫描控制以及数据采集。新设计的AFM.IPC-208B系统仍具有0.1nm的分辨率,检测范围为0～2mm×2mm,系统操作简易,工作效率高,与原STM.IPC-205B系统兼容,工作性能稳定可靠。
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| 关 键 词： | 扫描隧道显微镜 原子力显微镜 系统设计 |
Nano-detection system design of atomic force microscope based on scanning tunnelling microscopy |
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| LIU An-ping,GUO Hong-hua,ZHU Kun,QIN Guo-ping,WANG Bin-bo. Nano-detection system design of atomic force microscope based on scanning tunnelling microscopy[J]. Journal of Chinese Electron Microscopy Society, 2009, 28(2): 116-121 |
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| Authors: | LIU An-ping GUO Hong-hua ZHU Kun QIN Guo-ping WANG Bin-bo |
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| Affiliation: | Lab of Heng-rui Nano Science & Technology;Chongqing University;Chongqing 400030;China |
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| Abstract: | Atomic force microscope (AFM) is currently a powerful tool of conducting surface observation and Micromorphology analysis. This paper mainly introduces an AFM work system in nanometer,AFM.IPC-208B,its detection mechanism is based on scanning tunnelling microscopy (STM). This design is based on the system of STM.IPC-205B,and the work principle is testing the tunnelling current,so that we can get the AFM and STM function compatible combination. The design principle,lens body,scanning controller and data colle... |
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| Keywords: | scanning tunnelling microscopy atomic force microscope system design |
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