| Si基微纳集成光波导的理论设计 |
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| 引用本文： | 陈志文,李章健,朱启乐,赵玉周,林旭彬,李静,蔡志岗,王钢,李宝军. Si基微纳集成光波导的理论设计[J]. 半导体学报, 2005, 26(z1): 229-232 |
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| 作者姓名： | 陈志文 李章健 朱启乐 赵玉周 林旭彬 李静 蔡志岗 王钢 李宝军 |
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| 作者单位： | 中山大学光电材料与技术国家重点实验室,广州,510275;中山大学光电材料与技术国家重点实验室,广州,510275;中山大学光电材料与技术国家重点实验室,广州,510275;中山大学光电材料与技术国家重点实验室,广州,510275;中山大学光电材料与技术国家重点实验室,广州,510275;中山大学光电材料与技术国家重点实验室,广州,510275;中山大学光电材料与技术国家重点实验室,广州,510275;中山大学光电材料与技术国家重点实验室,广州,510275;中山大学光电材料与技术国家重点实验室,广州,510275 |
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| 基金项目： | 教育部科学技术基金 , 高等学校博士学科点专项科研项目 , 广东省科技计划 |
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| 摘 要： | 提出了一种宽度从微米到亚微米、深亚微米、再到纳米级渐变的微纳集成结构光波导,并通过理论分析和模拟计算得到了基于Si基半导体材料的微纳集成光波导参数.其制作工艺非常简单,插入损耗在1～2.5dB之间.这种微纳集成光波导不但可解决芯径为10μm的单模光纤与纳米量级的光子晶体波导器件间的光对接、耦合和互连等难题,还可缩小光波导器件芯片的单元尺寸,有利于提高器件的集成度.为光电子器件向纳米光子集成方向的发展提供了新途径,为新一代全光通信用微纳新原理光电子器件及功能集成的发展提供了新思路.
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| 关 键 词： | 微纳集成 光波导 集成光学 集成光子学 |
| 文章编号： | 0253-4177(2005)S0-0229-04 |
| 修稿时间： | 2004-11-16 |
Theoretical Analysis and Design of Si-based Micro- and Nano- Integrated Optical Waveguides |
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| Chen Zhiwen,Li Zhangjian,Zhu Qile,Zhao Yuzhou,Lin Xubin,Li Jing,Cai Zhigang,Wang Gang,Li Baojun. Theoretical Analysis and Design of Si-based Micro- and Nano- Integrated Optical Waveguides[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2005, 26(z1): 229-232 |
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| Authors: | Chen Zhiwen Li Zhangjian Zhu Qile Zhao Yuzhou Lin Xubin Li Jing Cai Zhigang Wang Gang Li Baojun |
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