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| 微波等离子体源在钢表面氮化中的应用 | |
| 引用本文： | 胡海天,邬钦崇.微波等离子体源在钢表面氮化中的应用[J].材料保护,1996,29(2):28-30. |
| 作者姓名： | 胡海天 邬钦崇 |
| 作者单位： | 中国科学院等离子体物理研究所 |
| 摘 要： | 对微波等离子体源和常规等离子体源进行了对比，分析了微波等离子体源应用于离子氮化的优越性，报道了微波等离子体在钢表面氮化中的应用． |
| 关 键 词： | 等离子体 渗氮 钢 离子氮化 微波等离子体源 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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