| 液态金属离子源静电透镜离子枪的实验研究 |
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| 引用本文： | 彭永生,刘心红,陆家和. 液态金属离子源静电透镜离子枪的实验研究[J]. 真空科学与技术学报, 1994, 0(4) |
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| 作者姓名： | 彭永生 刘心红 陆家和 |
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| 作者单位： | 清华大学电子工程系!北京100084 |
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| 摘 要： | 液态金属离子源（LMIS）的亚微米聚焦离子束（FIB）在现代分析技术和微细加工等领域有很多应用。介绍一种计算机控制的快速、灵活、准确的束斑测量方法；并报导用这种方法对采用Orloff—Swanson静电透镜离子枪的FIB性能的研究结果，包括源尖对中对束斑的影响、各电极电位对束斑的影响及束斑与束流的关系等。通过仔细的源尖位置调节，在束能13keV，束流1．0nA时，FIB束斑在亚微米范围。
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| 关 键 词： | 液态金属离子源 离子枪 束流 束斑 亚微米 |
EXPERIMENTAL RESEARCH OF THE ION GUN WITH LMIS AND ELECTROSTATIC LENS |
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| Peng YongSheng, Liu Xinhong, Lu Jiahe. EXPERIMENTAL RESEARCH OF THE ION GUN WITH LMIS AND ELECTROSTATIC LENS[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 1994, 0(4) |
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| Authors: | Peng YongSheng Liu Xinhong Lu Jiahe |
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| Abstract: | Focus ion beam (FIB) with liquid metal ion soure (LMIS) has many applications in modern instrumental analysis and microfabrication. This paper describes an effective method of measuring the beam size with computer and give some experimental results of Orloff- Swanson eletrostatic gun of our FIB system The beam size is in submicrometer range at the energy of 13keV and heam current of 1nA. |
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| Keywords: | Liquid metal ion source (LMIS) Ion gun Beam current Beam size Submicrometer |
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