| 微机械加工技术在微传感器中的应用 |
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| 引用本文： | 胡明,马家志,邹俊,张之圣.微机械加工技术在微传感器中的应用[J].压电与声光,2002,24(4):268-270,302. |
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| 作者姓名： | 胡明 马家志 邹俊 张之圣 |
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| 作者单位： | 天津大学,电子信息工程学院,天津,300072 |
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| 摘 要： | 随着微传感器的广泛应用，微机械加工技术被越来越多地应用于传感器的制造工艺中，从微机械加工技术的关键工艺入手，分别对体微机械加工技术和表面微机械加工技术加以介绍，并介绍了两种分别使用体微机械加工技术和表面微机械加工技术制造的微传感器。
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| 关 键 词： | 微机械加工技术 微传感器 微电子机械系统 MEMS 各向异性腐蚀 多晶硅 |
| 文章编号： | 1004-2474(2002)04-0268-03 |
Application of Micromachining Technology in Micro-sensors |
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| HU Ming,MA Jia zhi,ZOU Jun,ZHANG Zhi sheng.Application of Micromachining Technology in Micro-sensors[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2002,24(4):268-270,302. |
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| Authors: | HU Ming MA Jia zhi ZOU Jun ZHANG Zhi sheng |
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| Abstract: | With the wide application of micro sensors,micromachining technology is more and more used in manufacture for micro sensors.The key processes of bulk micromachining and surface micromachining are introduced,and two micro sensors using the above technologies are presented respectively. |
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| Keywords: | micro sensor micromachining technology microelectromechanical system(MEMS) anisotropic etching polyslicon |
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