|
|||||
|
|
| 由电子真空计引发的一起事故分析 | |
| 作者姓名： | 吴耀东 |
| 作者单位： | 电子工业部第十八研究所 |
| 摘 要： | 真空镀膜机、热处理真空炉等设备,在检修后或使用中用电子复合真空计测量时,若出现同一真空室、相同位置,显示不同的真空度的故障,其原因常令操作者或修理者一时捉摸不透。如果此时盲目觉得差不多,以为检修完毕可继续进行生产,极有可能将会造成被加工产品报废,甚至部分真空设备和测量原件损坏,酿成事故。此种故障现象一般表现为:启动设备、机械真空泵抽气到设备要求一定的真空度(一般6Ｐａ左右),这个过程所需时间和以往没太大区别。再经过扩散泵抽高真空以后,观察到热偶真空计仪表指针基本达到1×10-1Ｐａ,指针仪表上有时稍差一两小格刻度(… |
| 关 键 词： | 电子真空计 故障 检修 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |