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| 土法铝腐蚀——化学电释氢法 | |
| 作者单位： | 中国科学院半导体所 |
| 摘 要： | 这里介绍一种不用外加直流电源腐蚀铝的工艺方法,能大量消除腐蚀过程中被腐蚀的铝表面产生的氢气泡,也就消除了铝斑。这种方法的主要之点是将铝腐蚀过程中的电荷转移用外加电极的方法加以导引,使气泡由铝表面释放转移到外加电极上释放,效果显著,也为判断感光胶对铝的粘合力的优劣提供了一个适当的方法 |
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