| TiO2-SnO2复合氧化物介孔薄膜的气敏特性研究 |
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| 引用本文： | 张锦瑞,许军娜,凌云汉. TiO2-SnO2复合氧化物介孔薄膜的气敏特性研究[J]. 传感器与微系统, 2010, 29(9) |
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| 作者姓名： | 张锦瑞 许军娜 凌云汉 |
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| 作者单位： | 1. 河北理工大学,资源与环境学院,河北,唐山,063009
2. 清华大学,材料系,北京,100084 |
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| 摘 要： | 采用蒸发诱导自组装工艺制备了TiO2-SnO2介孔金属氧化物薄膜。采用静态配气法,研究了不同掺杂量SnO2对TiO2元件气敏性的影响,并通过测定电化学阻抗谱,分析了介孔金属氧化物的气敏机理。结果表明:随着SnO2掺杂量的增加,TiO2元件对乙醇气体灵敏度也随之提高,而初始响应温度则随之降低。在250℃时,20%-TiO2和SnO2元件对体积分数为500×10-6乙醇的灵敏度分别为13.24和14.26。阻抗分析表明:复合氧化物对还原性气体敏感过程具有明显容抗特征。
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| 关 键 词： | 介孔材料 TiO2-SnO2薄膜 蒸发诱导自组装 气敏 |
Research on gas-sensing properties of mesostructured TiO2-SnO2 composite thin films |
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| ZHANG Jin-rui,XU Jun-na,LING Yun-han. Research on gas-sensing properties of mesostructured TiO2-SnO2 composite thin films[J]. Transducer and Microsystem Technology, 2010, 29(9) |
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| Authors: | ZHANG Jin-rui XU Jun-na LING Yun-han |
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| Affiliation: | ZHANG Jin-rui1,XU Jun-na1,LING Yun-han2 (1.College of Environment , Resources,Heibei Polytechnic University,Tangshan 063009,China,2.Laboratary of Advanced Materials,Tsinghua University,Beijing 100084,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | mesoporous material TiO2-SnO2 thin films evaporation-induced self-assembly gas sensing |
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