| 利用有限元分析工具优化设计微气体传感器结构 |
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| 引用本文： | 张彤,李春明,刘丽,徐宝琨. 利用有限元分析工具优化设计微气体传感器结构[J]. 仪表技术与传感器, 2005, 0(2): 4-6 |
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| 作者姓名： | 张彤 李春明 刘丽 徐宝琨 |
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| 作者单位： | 吉林大学电子科学与工程学院,吉林,长春,130012 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(60104006)，吉林省科技厅资助项目(20030322) |
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| 摘 要： | 利用金属铂的热阻、热敏特性以及SiO2、SiNx良好的绝热绝缘特性，设计一种以金属铂薄层为加热器，叉指状金薄层为信号电极，SiO2和SiNx为隔热和电绝缘层的硅基微结构气敏元件。利用有限元分析工具ANSYS，对该硅基微结构气敏元件的加热衬底的温度场进行模拟和分析，根据分析的结果对所设计的气敏元件优化，优化后的气敏元件热损耗将更小，响应速度将更快。
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| 关 键 词： | 微热板 有限元分析 ANSYS 温度场 响应速度 |
| 文章编号： | 1002-1841(2005)02-0004-03 |
| 修稿时间： | 2004-05-20 |
Optimizing Si-substrated Micro-structural Gas Sensor Structure by Finite Element Analysis(FEA) |
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| ZHANG Tong,LI Chun-ming,LIU Li,XU Bao-kun. Optimizing Si-substrated Micro-structural Gas Sensor Structure by Finite Element Analysis(FEA)[J]. Instrument Technique and Sensor, 2005, 0(2): 4-6 |
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| Authors: | ZHANG Tong LI Chun-ming LIU Li XU Bao-kun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MHP(micro-hearing plate) FEA(finite element analysis) ANSYS Temperature Distributing Response Speed |
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