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| 双层金属布线2μmCMOS万门门阵列（LC4750）工艺研究 | |
| 作者姓名： | 郭玉璞 |
| 作者单位： | 电子工业部东北微电子研究所!沈阳110032 |
| 摘 要： | 介绍了双层金属布线２μｍ硅栅ＣＭＯＳ万门门阵列（ＬＣ４７５０）的研制过程、工艺设计和工艺控制，讨论了关键工艺的各种方法、条件及试验结果，并对新工艺线的工艺能力做了认真分析。 |
| 关 键 词： | 集成电路 CMOS 门阵列 布线 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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