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| 微电子工艺清洗技术的应用分析 | |
| 作者姓名： | 杨丹凤 |
| 作者单位： | 湖南省长沙市第一中学,410000 |
| 摘 要： | 随着科学技术的发展,我国的微电子技术得到了快速发展,使电子元件的集成程度越来越高,给微电子器件的清洗工作带来了很大的挑战,其清洗质量对电子设备的质量也会造成严重的影响.对此,本文对微电子工艺清洗方法的现状进行了分析,并提出了有效的清洗对策. |
| 关 键 词： | 微电子设备 清洗技术 干法清洗 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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