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| 基于有限元分析的电容式孔径测量传感器的设计方法 | |
| 引用本文： | 叶树亮,王克奇.基于有限元分析的电容式孔径测量传感器的设计方法[J].现代计量测试,2003(6). |
| 作者姓名： | 叶树亮 王克奇 |
| 作者单位： | 东北林业大学，东北林业大学 哈尔滨 150040，哈尔滨 150040 |
| 摘 要： | 孔径测量是测量领域的关键技术之一,本文在阐述小孔孔径电容法测量的基础上,建立了测量机构静电场的数学模型,利用有限元法对不同半径的测头和被测件之间形成的三维电场和电容进行了分析、计算,得出了位移一电容的输出特性曲线,最后给出了传感器测头设计的方案。 |
| 关 键 词： | 有限元 电容式 孔径测量 传感器 |
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