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| 多晶硅生产技术及发展现状 | |
| 作者姓名： | 樊舜尧 师文林 |
| 作者单位： | 潞安矿业集团公司 |
| 摘 要： | 硅（Si）材料是微电子工业和太阳能发电的基础材料，在过去40多年中，硅材料的发展直接促进了集成电路和整个微电子产业的进步，使微电子产业的年增长率达到17％以上。2000年，全球75亿美元的硅材料支撑起了2000亿美元的半导体集成电路产业，进一步支撑起数以万亿美元的电子、 |
| 关 键 词： | 多晶硅 生产技术 集成电路产业 微电子工业 微电子产业 基础材料 太阳能发电 年增长率 |
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