AZO透明导电薄膜的工艺优化及其在叠层硅薄膜太阳能电池上的应用

本文利用直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备了低电阻率、高透光率的掺铝氧化锌（ZnO:Al）透明导电薄膜，经过稀盐酸腐蚀制绒后，作为前电极应用于叠层硅薄膜太阳能电池。详细讨论了溅射和腐蚀工艺参数对薄膜光电性能的影响。优化工艺制备出的AZO薄膜具有高散射能力的表面形貌，其透光率在81%以上（380~1100nm范围），方块电阻和雾度分别为11Ω/□和41.3%。AZO薄膜作为前电极应用于a-Si:H/μc-Si:H双结薄膜太阳能电池，小面积电池的初始转换效率达到了12.5％。