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| 底电极对PLT铁电薄膜结构与电性能的影响 | |
| 作者姓名： | 宋志棠 任巍 |
| 作者单位： | 西安交通大学电子材料与器件研究所 |
| 基金项目： | 国家八六三计划新材料领域的资助 |
| 摘 要： | 用Ｘ射线衍射和扫描电镜对不同厚度Ｔｉ的Ｐｔ／Ｔｉ电极的物要与形貌进行了分析。用金属有机化合物分解法通过多次匀胶，制备了０．７２－０．８７μｍ厚的ＰＬＴ铁电薄膜。并对其形貌，相结合介电和铁电性能与直流电阻特性进行对比研究，结果表明：不同厚度Ｔｉ的Ｐｔ／Ｔｉ电极对ＰＬＴ铁电薄膜的各种有明显的影响。 |
| 关 键 词： | PLT 薄膜 底电极 介电特性 铁电材料 |
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