| 聚苯胺/氧化铟复合薄膜QCM气体传感器 |
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| 作者姓名： | 严晓磊 谢光忠 杜晓松 太惠玲 蒋亚东 |
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| 作者单位： | 电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054;电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054;电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054;电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054;电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) ， 国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 在10℃条件下,运用静电力自组装和原位化学氧化聚合相结合的方法制备了聚苯胺/氧化铟(PANi/In2O3)复合薄膜,并通过紫外-可见光光谱分析和扫描电镜(SEM)对薄膜进行了分析表征。采用AT-切型Ag电极石英晶体微天平(QCM)制备了PANi/In2O3气体传感器,常温下研究了它对瓦斯中主要成分CH4和CO气体以及常见干扰气体NH3的敏感特性。结果表明,PANi/In2O3复合薄膜对CH4和CO均呈现出较好的线性敏感性能,而对NH3则表现为非线性。
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| 关 键 词： | PANi/In2O3复合薄膜 瓦斯气体传感器 自组装 石英晶体微天平 |
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