| 纳米光刻双光栅对准莫尔条纹分析 |
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| 作者姓名： | 周绍林 唐小萍 胡松 马平 陈旺富 严伟 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院光电技术研究所,成都,610209;中国科学院研究生院,北京,100039
2. 中国科学院光电技术研究所,成都,610209 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 为了给实际的纳米光刻对准工作提供理论研究基础,主要分析推导了莫尔条纹复振幅以及光强的空间分布规律.在理论分析的基础上通过仿真,定量地确定了莫尔条纹复振幅分布的近似数学模型.分析表明,当对准光路通过掩模硅片上的两个对准标记受到两次光栅的调制并发生复杂的衍射和干涉时,将形成有规律的、呈一定周期分布的莫尔条纹.并且当两光栅周期相近时,莫尔条纹将表现为一个与两光栅周期相关的空间拍信号.在近似模型中该拍信号主要由两光栅基频的乘积调制与振幅调制信号组成.两调制信号的群峰值周期相等、与拍信号的群峰值周期一致,并且该周期相对于两光栅周期被大幅度放大,因而具有很好的位移探测灵敏度,有利于纳米级对准的实际应用.
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| 关 键 词： | 莫尔条纹 建模 纳米光刻 双光栅调制 |
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