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| 从扩散硅力敏传感器Class41到智能传感器ST3000——访美国霍尼韦尔公司SSED分部 | |
| 引用本文： | 马少梅,徐开先.从扩散硅力敏传感器Class41到智能传感器ST3000——访美国霍尼韦尔公司SSED分部[J].仪表技术与传感器,1989(1). |
| 作者姓名： | 马少梅 徐开先 |
| 作者单位： | 机电部仪器仪表司 总工程师、中国传感器行业协会副会长 (马少梅)，机电部沈阳仪器及表工艺研究所 所长、中国传感器行业协会副会长(徐开先) |
| 摘 要： | 本文介绍了美国霍尼韦尔公司SSED的基本情况;介绍了扩散硅力敏传感器Class41型的基本参数和制备工艺;还介绍了智能传感器ST3000的制备工艺及在设计、性能方面与Class41型传感器的比较;由此提出对发展我国扩散硅力敏传感器的看法。 |
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