| MEMS热敏微流量传感器研究 |
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| 引用本文： | 刘国华,张伟,徐进良.MEMS热敏微流量传感器研究[J].微细加工技术,2008(4). |
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| 作者姓名： | 刘国华 张伟 徐进良 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院广州能源研究所,微能源系统实验室,中国科学院可再生能源与天然气水合物重点实验室,广州,510640;中国科学院研究生院,北京,100049
2. 中国科学院广州能源研究所,微能源系统实验室,中国科学院可再生能源与天然气水合物重点实验室,广州,510640 |
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| 摘 要： | 采用标准MEMS工艺,设计并制造了一种Pt薄膜热式微流量传感器,并且以水和甲醇为工质,对该热式微流量传感器的工作特性进行了实验研究和数值模拟.结果表明,在50 μL/min～300μL/min的参数范围内,其工作曲线具有较好的线性测量特性,在薄膜高功率工作及采用小比热容的工作液时,传感器有更高的敏感性;结合理论分析与传热流动的数值模拟,研究了传感器的传热特性,模拟与实验吻合较好.该研究结果将为传感器设计封装的优化提供理论参考和依据.
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| 关 键 词： | 微通道 热式流量传感器 Pt薄膜 硅微加工工艺 |
Study on a MEMS Thermal Flow Sensor |
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| LIU Guo-hua,ZHANG Wei,XU Jin-liang.Study on a MEMS Thermal Flow Sensor[J].Microfabrication Technology,2008(4). |
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| Authors: | LIU Guo-hua ZHANG Wei XU Jin-liang |
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| Affiliation: | LIU Guo-hua1,2,ZHANG Wei1,XU Jin-liang1(1.Micro Energy System Laboratory,Key Laboratory of Renewable Energy , Gas Hydrate of CAS,Guangzhou Institute of Energy Conversion,Chinese Academy of Sciences,Guangzhou 510640,China,2.Graduate school of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100049,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-channel thermal flow sensor Pt-film MEMS |
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