绝对式多极磁感应角位移测量系统的技术研究

多极磁感应角位移测量系统被广泛应用于精密测试及制造领域,传统的多极磁感应角位移测量系统为单通道模式,不具备绝对零位,为实现绝对零位功能可将其设计为双通道模式,但这种双通道设计模式会增加系统的体积、成本及复杂性。提出了一种集成光电传感器的新型绝对零位测角方案,这种方案创新性地将光电传感器与多极磁感应角位移测角系统在结构上进行了集成,通过将光电传感器安置在多极磁感应角位移测角系统的某一个对极空间内,巧妙地利用光电传感器触发特性将这个对极的零位作为系统的绝对零位,从而避开了光电传感器重复性不高的缺陷,得以实现高重复精度的绝对零位。重点论述了零位功能及信号调理部分的技术路线,并构建了实验测试平台对零位功能及重复性进行了验证,实验测试绝对零位的重复性误差不超过0.1″,随后对系统测角精度进行标定可达到±2.7″,进而验证了本文所涉及绝对零位及高精度测角方案的可行性。